16.2.2检验之前，应对所测环境作彻底清洁，但不得使用一般吸尘机吸尘。擦拭人员应穿洁净工作服，清洗剂可根据场合选用纯化水、有机溶剂、中性洗涤剂或自来水。

16.2.3检验项目首先宜测风速、风量、静压，然后检漏，再测洁净度。在其他必测项目测完并完成表面消毒后测定细菌浓度，测定细菌浓度前不得进行空气消毒。最后测定选测项目。

16.2.4表16.2.1中的检验项目应按所列附录的方法进行检验。当有明显理由不便执行本规范的检验方法时，可经委托方（用户）和检验方双方协商用其他方法，并载入协议。

16.3检验周期 

16.3.1在工程验收后为确认洁净室的必测项目符合要求的日常检验周期，可按表16.3.1确定。

表16.3.1  必测项目检验时间的要求

16.3.2在工程验收后为确认洁净室的选测项目符合要求的日常检验（不含临时抽测）周期可按表16.3.2确定。

表16.3.2  选测项目检验时间的要求

动态监测的时间间隔由用户自定。

16.3.3有下列原因之一者，应重新进行静态性能验收检验：

1. 对系统采取措施进行改动的。

2. 严重背离现行性能条件的（如改动洁净度级别，所谓“严重”应由协议定义）。

3. 风系统重大故障，影响运行的。

4. 严重影响设施运行的特殊维修之后（如更换末级过滤器）。

16.4性能检验评定标准，

16.4.1风量和风速按附录E检验，应符合下列规定：

1. 非单向流洁净室按附录E检验，结果应符合以下规定：

系统的各项实测风量及换气次数应大于各自的设计风量或换气次数，但不应超过20％；

室内各风口的风量与各风口设计风量之差均不应超过设计风量的±15％。

2. 单向流洁净室按附录E检验，结果应符合以下规定：

实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过15％；

实测室内新风量应大于设计新风量，但不应超过10％。

16.4.2当需对室内单向流品质作细致确认时，可测风速不均匀度。风速不均匀度按附录E检验，并按下式计算，结果不应大于0.25。

              （16.4.2）

式中：  ――风速不均匀度；

――任一点实测风速；

――平均风速；

n――测点数。

16.4.3静压差按附录E检验，应符合下列规定：

1. 压差值应符合被测对象压差控制标准的要求。

2. 洁净度为5级或更高的单向流洁净室，开门状态下的出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。

3. 有不可关闭开口（如传送带通过口）两边的洁净室，以开口风速代替两室压差，开口处从高级别向低级别的风速或按设计、工艺要求从一室流向另一室的风速应符合设计要求。当设计无明确要求时，不应小于0.25m/s。该室与其他相邻环境的压差仍应符合相关规定。

4. 当被测对象没有压差控制标准时，其结果应符合下列规定：

洁净室与非洁净室之间的静压差应大于10Pa；相邻不同洁净度级别洁净室之间的静压差应大于5Pa；洁净室与室外静压差应大于12Pa。

5. 当有排风时，测定值应为最大排风时的数值。

16.4.4扫描检漏按附录D的方法、步骤执行。

当用2.83L/min或28.3L/min粒子计数器扫描发现有非零的漏泄特征数字时，应立即定点检漏1min，如出现等于或大于3粒/min的读数，即判定为漏。必要时可定点测2次。

16.4.5空气洁净度级别按附录E检验微粒计数浓度，然后应按以下程序计算出空气洁净度级别并评价。

1. 按下列公式计算室平均含尘浓度和各测点平均含尘浓度的标准误差  。

                              （16.4.5-1）

                    （16.4.5-2）

2. 洁净度评定标准应符合表16.4.5-1和表16.4.5-2的规定。

表16.4.5-1  洁净度评定标准 

注：――测点数；

――每个采样点上连续3次或3次以上稳定读数的平均值；

――各点平均值中的最大值；

――置信度上限为95％时，2点～9点采样时单侧t分布的系数，其值见表16.4.5-3。

    表16.4.5-2 级别浓度上限  粒/m3

表16.4.5-3    系数

3. 判断洁净度级别时，应计算到小数后1位，按0.1级递增。

16.4.6 室内甲醛浓度分上午、下午共2次，按附录E检验，每次结果应符合设计要求，当设计无明确要求时，应符合《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10 mg/m3的规定。

16.4.7 室内空气温度、相对湿度按附录E检验，结果应符合下列规定：

无恒温恒湿要求的场所，温度和相对湿度应符合设计或相关标准的要求。

有恒温恒湿要求的场所：90％以上测点都达到的、各测点各次温度偏离控制点的最大值，为该室室温波动范围，不应超过设计要求；90％以上测点都达到的、各测点平均温度与各测点中最低或最高一次温度的偏差值，为该室区域温差，不应超过设计要求。

相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。

测量值应通过调试尽量达到测定时气象条件下静态能力的极值，如建设方有要求，可在动态下复核。

用于最终评价的温度和相对湿度测定值应为气象条件最不利的冬季和夏季的测定值。

16.4.8室内噪声按附录E检验，室平均噪声值或混合流洁净室时的单向流区与非单向流区的各自平均噪声值，应符合被测对象的噪声控制标准的要求，没有控制标准时，应符合国家现行标准《洁净厂房设计规范》GB50073的规定。

16.4.9室内照度和照度均匀度按附录E检验，工作面上最低照度值和照度均匀度（即工作面上最低照度值与平均照度值之比）应符合被测对象的照度控制标准的要求。没有控制标准时，应符合国家现行标准《洁净厂房设计规范》GB50073的规定。

16.4.10室内浮游菌浓度和沉降菌浓度按附录E检验，各点平均值或一点最大值应符合设计或相关标准的要求。

16.4.11当对室内单向流品质作细致确认时，可测流线平行性。流线平行性按附录E检验，在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于150。

16.4.12当对室内振动影响作细致确认时，可测室内微振。室内微振按附录E检验，纵、横和垂直三个方向的振幅均应符合设计或相关标准的要求。

16.4.13当对室内表面导静电性能作细致确认时，可测表面导静电性能。表面导静电性能按附录E检验，表面电阻值和漏泄电阻值应符合被测对象的静电控制标准的要求。没有控制标准时，表面电阻值应为1.0×105～1.0×1010Ω，其中一级标准应为1.0×105～1.0×107Ω；漏泄电阻值应为1.0×105～1.0×108Ω。

16.4.14当对室内气流流型作细致确认时，可测气流流型。室内气流流型按附录E检验，应绘出流型图和给出分析意见。

16.4.15当对排除室内污染的能力作细致确认时，可测自净时间。自净时间按附录E检验，实测自净时间不应大于由图E11.3-1查出的计算自净时间的1.2倍。

16.4.16当对导致交叉污染的因素作细致确认时，可测气流的定向性。定向流按附录E检验，应绘出流动方向和给出分析意见。

16.4.17当对洁净室的严密性有特殊要求时，可测其围护结构严密性。围护结构严密性按附录G检验。检验结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，可在以下两表的任何一种评定方法中任选一种方法，两表中最大测试压力设定为500Pa。

表16.4.17-1 按压力半衰期区分气密性程度

表16.4.17-2 按漏泄率区分气密性程度

                          （16.4.17-1）

式中－被检洁净室净容积（一般情况下该容积可以用室体积代替），m3；

     －检验压力下前5min内仪表读出的每小时漏泄率  m3/h。

    当用压缩空气补偿时，设检验时温度不变，应考虑压力修正，成为：

                          （16.4.17-2)

式中－修正后用于计算α的漏泄流量；

    －室内大气压力；

－压缩空气实际压力，为表压与大气压之和。

16.4.18 当对室内微生物表面污染状况作细致确认时，可测表面染菌密度。表面染菌密度按附录E检验，结果应符合设计或相关标准的要求。

16.4.19 当需要对洁净室进行生物学评价时，应按附录F检验“回、排风高效过滤风口微生物透过率”、“对微生物气溶胶局部泄漏扩散的抑制能力”、“生物安全柜的隔离系数”的全部或一部分性能。

16.4.20 当对室内微粒表面污染情况作细致确认时，可测表面洁净度。表面洁净度测定方法可经委托方与检验方协商，从国际标准、有影响的国外标准、企业标准或文献推荐的方法中选用，结果应符合设计按表16.4.19给出的要求。

表16.4.19  表面洁净度级别所对应的最大允许表面浓度（个/m2）

16.4.21 当对室内空气品质作细致确认时，除装置本身产生的氨浓度应符合现行的相关产品标准规定外，可选测室内氨浓度。室内氨浓度分上午、下午共测2次，按附录E检验，每次结果应符合设计要求，当设计无明确要求时，应符合国家现行标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.20 mg/m3的规定。

16.4.22 臭氧浓度的检验应符合下列规定：

在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时，除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外，应在系统和该装置正常运转条件下，检测室内臭氧浓度。按附录E检验，结果应符合设计要求，当设计无明确要求时，应符合国家现行标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16 mg/m3的规定。

16.4.23  二氧化炭浓度的检测应符合下列规定：

当对新风效果作细致确认时，可在风系统正常运行，室内处于动态条件下，于每一班次结束之前检测室内二氧化炭浓度，按附录E检验，结果应符合设计要求，当设计无明确要求时，应符合国家现行标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10％的规定。

16.4.24 当需要测定分子态污染物浓度时，可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测，结果应符合设计要求或双方商定的标准。

17    验收

17.1一般规定

17.1.1 洁净室验收应在建设方（用户）的主导下，按工程验收和使用验收两方面进行。

为确认洁净室的工程施工质量符合设计和相关标准、规范的要求，必须实行洁净室工程验收。

为确认洁净室的功能满足使用要求，应由建设方与施工方协商进行使用验收。

17.1.2 一切验收应有文件，一切验收文件应有监理人员签字。

17.1.3洁净室施工质量，应遵循“验评分离、强化验收、完善手段、过程控制”的原则。

17.1.4洁净室的工程验收应按中间验收、施工验收和性能验收三阶段进行。

17.1.5 洁净室工程在施工方自行质量检查评定的基础上，应由建设方主导负责，参与建设活动的有关单位共同对主控项目和商定的其他项目的检验批、分项、分部和单位工程的质量进行验收。